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Agilent安捷倫 離子泵如何避免真空系統(tǒng)中的氣體回流

Agilent安捷倫 離子泵是真空系統(tǒng)中常用的一種高真空泵,用于將氣體抽取出真空室。為了避免真空系統(tǒng)中的氣體回流,離子泵采用了一些設(shè)計(jì)和操作上的措施,包括:

中型離子泵 VacIon Plus 55

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中型離子泵 VacIon Plus 55

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電子束阻擋器: 離子泵通常配備了電子束阻擋器,位于離子源和真空室之間。電子束阻擋器用于阻止電子束進(jìn)入離子源,并避免激發(fā)氣體分子,從而減少氣體回流。這有助于提高泵的效率和真空度。

磁場屏蔽: 一些離子泵具有磁場屏蔽結(jié)構(gòu),用于阻擋離子束和電子束從離子源流向真空室。這有助于減少氣體回流,特別是在真空系統(tǒng)中離子泵關(guān)閉時。

冷陷結(jié)構(gòu): 有些離子泵在離子源周圍采用冷陷結(jié)構(gòu),通過將表面冷卻到很低的溫度,使得氣體分子在接觸表面時凝結(jié)并被捕獲。這有助于防止氣體回流,并提高真空度。

動態(tài)操作: 在真空系統(tǒng)操作中,離子泵通常會與其他類型的泵(如分子泵、根據(jù)分子泵等)組合使用,以實(shí)現(xiàn)不同壓力范圍的抽取。通過合理選擇和操作其他泵,可以大大地減少氣體回流的風(fēng)險。

實(shí)時監(jiān)測: 離子泵系統(tǒng)通常配備真空度和氣體組分的實(shí)時監(jiān)測裝置。通過監(jiān)測真空度和氣體成分的變化,可以及時發(fā)現(xiàn)并處理任何氣體回流的情況。

以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的Agilent安捷倫 離子泵如何避免真空系統(tǒng)中氣體回流的介紹。   

Agilent安捷倫 離子泵


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