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真空饋通Feedthrough的連接方式通常采用法蘭連接的形式,其連接方法具體步驟如下:
1、確定連接法蘭的規(guī)格和型號,如ISO、KF、CF等。
2、清洗連接法蘭的表面,確保其表面光滑、無雜質(zhì)。
3、將兩個法蘭對準,使其螺孔對應。
4、插入法蘭螺栓,并用手或扳手逐個旋緊,保證法蘭連接緊密。
5、逐步用扭力扳手將每個螺栓扭緊,直到達到規(guī)定的扭矩值,確保法蘭連接牢固。
6、在連接法蘭的密封面之間涂抹一層真空密封劑,如石墨涂料、硅橡膠等,以確保真空密封。
真空饋通法蘭連接時需要保證連接部位干凈、光滑,使用合適的密封劑和扭矩扳手進行扭緊,避免過緊或過松導致泄漏或損壞。
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