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高真空干泵的工作原理是什么?

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高真空干泵是一種用于創(chuàng)建和維持高真空環(huán)境的真空泵。與傳統(tǒng)的潤滑劑或油封真空泵不同,高真空干泵使用干式(無潤滑劑)或半干式(少量潤滑劑)的工作原理,因此被稱為"干式真空泵"或"無油真空泵"。

高真空干泵的工作原理基于排氣腔和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的組合。主要包括以下幾個(gè)關(guān)鍵組件:

排氣腔:排氣腔是干式真空泵的主要工作區(qū)域。它通常由一對旋轉(zhuǎn)的葉片(Rotor)和靜止的外殼(Stator)組成,形成多個(gè)腔室。

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu):旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)葉片進(jìn)行旋轉(zhuǎn),通常通過電機(jī)或驅(qū)動(dòng)裝置提供動(dòng)力。

氣體進(jìn)出口:氣體通過進(jìn)口進(jìn)入排氣腔,并通過排氣口被排出。

高真空干泵的工作過程如下:

開始時(shí),排氣腔中的腔室與進(jìn)氣口相連,形成低真空狀態(tài)。

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)葉片開始旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生離心力。離心力將氣體從進(jìn)氣口向腔室外部推送,從而增加了排氣腔的壓力。

當(dāng)排氣腔的壓力達(dá)到一定水平時(shí),氣體會被推到排氣口并排出系統(tǒng),從而減小了排氣腔內(nèi)的壓力。

旋轉(zhuǎn)的葉片不斷與腔室相遇,將氣體進(jìn)行排出,從而提高排氣腔的真空度。

高真空干泵的工作原理使其能夠?qū)崿F(xiàn)無油、無潤滑劑的真空抽取過程。這些泵通常具有較高的抽取速度和較低的污染風(fēng)險(xiǎn),適用于對干凈的高真空環(huán)境要求較高的應(yīng)用。同時(shí),由于無需使用潤滑劑,高真空干泵也更易于維護(hù)和操作。不過,由于無油設(shè)計(jì),某些高真空干泵在某些應(yīng)用中可能會受到氣體或水蒸氣的限制,因此在選擇和使用時(shí)需要考慮特定的應(yīng)用需求和工作條件。

愛德華EPX高真空干泵

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以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的高真空干泵的工作原理。

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