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真空測量和顯示
Edwards愛德華VIV電磁隔離閥是一種高流導(dǎo)(11–126 l/s)、快速動作(<0.1 s)的高真空隔離閥。它可用于防止蒸汽或顆粒從前級泵反流回工藝腔體,并且在電源故障時,能夠防止工藝腔體破空。單向交流電壓和24 V直流電壓可供選擇,適用于大多數(shù)應(yīng)用。可推薦使···
產(chǎn)品詳情
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Edwards愛德華VIV電磁隔離閥是一種高流導(dǎo)(11–126 l/s)、快速動作(<0.1 s)的高真空隔離閥。它可用于防止蒸汽或顆粒從前級泵反流回工藝腔體,并且在電源故障時,能夠防止工藝腔體破空。單向交流電壓和24 V直流電壓可供選擇,適用于大多數(shù)應(yīng)用。
可推薦使用VIV閥的前級泵有nXDS、XDS、nXLi和nXRi等干式前級泵。當VIV閥關(guān)閉時,前級泵能夠an全破空。當前級泵停止或被停止時,VIV閥能夠保護工藝腔體不被破空。當前級泵重新啟動時,當VIV閥內(nèi)的壓力下降(<200 mbar)時,閥門將緩慢(<15 s)打開,從而將任何壓力突然變化的影響降至低。
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