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Gamma Vacuum非蒸發(fā)型吸氣劑泵 (NEG)

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Gamma非蒸發(fā)型吸氣劑泵 (NEG),NEG 由被壓到固態(tài)基板上或被燒結(jié)成盤狀的活性金屬制成。材料的用量控制著 NEG 泵的轉(zhuǎn)速和性能,但通常氫氣的抽速介于 50 至 3,500 ls-1 之間。隨著 NEG 內(nèi)氣體的飽和,它們可以在不需要破空大氣的環(huán)境下再活化。其主要優(yōu)勢在于能夠在無需電源的情況下長時間抽空。

NEG 非常適用于抽空和維持真空應用,并且可用于提升離子泵的性能,或單獨使用抽真空。由于其尺寸緊湊、H2 抽速較高,因此是 UHV 應用的理想選擇。它們通常并不適用于頻繁從大氣壓下開始抽真空應用,因為這會使表面飽和,并且它們僅可在有限的次數(shù)內(nèi)進行再活化。

Gamma Vacuum非蒸發(fā)型吸氣劑泵 (NEG)

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