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問:三位真空閘閥操作壓力范圍是多少?
答:三位真空閘閥操作壓力與開口尺寸有關(guān),開口尺寸在2.5? ~ 6?英寸之間,操作壓力范圍為1×10-10 mbar to 1400 mbar;開口尺寸在8? ~ 12?英寸之間,操作壓力范圍為1×10-10mbar to 1200 mbar。
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