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真空閘閥致動(dòng)器是指用于控制真空閘閥開關(guān)的裝置。致動(dòng)器通過控制氣體或電磁信號(hào),使真空閘閥開啟或關(guān)閉,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)中氣流的控制。常見的真空閘閥致動(dòng)器有以下幾種類型:
手動(dòng)致動(dòng)器:需要人工旋轉(zhuǎn)手柄或推動(dòng)桿來控制閥門的開閉。
電磁致動(dòng)器:通過電磁線圈產(chǎn)生磁場,控制閥門的開閉。電磁致動(dòng)器響應(yīng)速度快,可以通過電氣控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
氣動(dòng)致動(dòng)器:通過氣體壓力控制閥門的開閉。氣動(dòng)致動(dòng)器適用于高真空條件下的閥門控制。
液壓致動(dòng)器:通過液體壓力控制閥門的開閉。液壓致動(dòng)器的響應(yīng)速度較慢,通常用于大型閥門的控制。
機(jī)械致動(dòng)器:通過機(jī)械傳動(dòng)裝置控制閥門的開閉。機(jī)械致動(dòng)器通常適用于需要高扭矩或高精度控制的場合。
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