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通常,真空閘閥對(duì)介質(zhì)有一定要求。主要包括以下幾個(gè)方面:
清潔性:真空閘閥中的介質(zhì)應(yīng)該具有較高的清潔性,盡可能少的含有雜質(zhì)和粉塵等有害物質(zhì)。因?yàn)樵诟哒婵窄h(huán)境下,這些雜質(zhì)和粉塵可能會(huì)對(duì)閥門的密封性和性能產(chǎn)生負(fù)面影響。
不易氧化:介質(zhì)應(yīng)該具有較強(qiáng)的抗氧化性能,避免在真空環(huán)境中與氧氣發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生氧化物,導(dǎo)致氧化產(chǎn)物對(duì)真空系統(tǒng)的污染和損壞。
不易揮發(fā):介質(zhì)不應(yīng)該具有較高的揮發(fā)性,避免揮發(fā)物質(zhì)在真空環(huán)境下的蒸發(fā)和析出,導(dǎo)致對(duì)真空系統(tǒng)的污染和損壞。
不易吸附:介質(zhì)不應(yīng)該對(duì)閥門表面具有較強(qiáng)的吸附性,避免介質(zhì)在閥門內(nèi)部或接觸面附著并堵塞或污染閥門。
不易腐蝕:介質(zhì)不應(yīng)該對(duì)閥門材料具有較強(qiáng)的腐蝕性,避免對(duì)閥門的材料造成損壞,影響閥門的使用壽命。
綜上所述,真空閘閥對(duì)介質(zhì)也有要求,介質(zhì)需要具有較高的清潔性、抗氧化性、不易揮發(fā)性、不易吸附性和不易腐蝕性等特點(diǎn),以確保閥門的可靠性和性能穩(wěn)定性。
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