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真空角閥是一種用于控制真空系統(tǒng)內(nèi)氣體流動(dòng)的機(jī)械裝置,其主要作用為以下幾點(diǎn):
控制真空系統(tǒng)的氣體流動(dòng):真空角閥可以通過(guò)打開或關(guān)閉閥門來(lái)控制氣體在真空系統(tǒng)內(nèi)的流動(dòng),以實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的控制。
隔離真空系統(tǒng)中的部分:真空角閥可以將真空系統(tǒng)內(nèi)的不同部分隔離開來(lái),以允許對(duì)其中一個(gè)部分進(jìn)行維護(hù)或更換,而不會(huì)影響到其他部分的運(yùn)行。
保護(hù)真空泵:真空角閥可以在真空泵關(guān)閉或停機(jī)時(shí)關(guān)閉,以避免氣體回流或使泵在真空泵內(nèi)形成壓力,從而損壞真空泵。
避免污染:真空角閥可以防止環(huán)境中的氣體進(jìn)入真空系統(tǒng)中,從而避免污染真空系統(tǒng)內(nèi)部的物體。
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