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真空閘閥
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真空饋通Feedthrough可以連接各種需要在真空或高壓環(huán)境下傳輸信號或能量的設備
真空饋通Feedthrough?主要作用是在真空或高壓環(huán)境下傳輸信號或能量，其主要原理是利用金屬管和電極之間的電場效應將信號或能量傳輸?shù)侥繕嗽O備。
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